Подробное описание документа

Андреев В. В., Кашин В. В., Ежова М. М.
   Технологические процессы микроэлектроники : методические указания / Андреев В. В., Кашин В. В., Ежова М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 54 с. : ил. - Библиогр.: с. 52. - ISBN 978-5-7038-3892-1.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7461/

В данных методических указаниях приведены лабораторные работы по изучению характеристик тонко пленочных ГИС и толстопленочных ИС, топологии тестового модуля и методики снятия вольт-фарадных характеристик МДП-структур.
Указания рекомендуются студентам, обучающимся по направлению подготовки 211000, для выполнения лабораторных работ по курсу «Технологические процессы микроэлектроники» и «Технология интегральных микросхем».