Подробное описание документа

Сагателян Г. Р., Макушина Н. В.
   Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра : учебное пособие / Сагателян Г. Р., Макушина Н. В. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2006. - ISBN 5-7038-2926-7.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/31257.html

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника».